抛光粉通常由氧化铝、氧化硅、氧化锆、氧化铈等组份组成，不同的材料的硬度不同，在水中的化学性质也不同，因此使用场合各不相同。氧化铝和氧化锆的莫氏硬度为9，氧化铈和氧化硅为7，氧化铁更低。氧化铈与硅酸盐玻璃的化学活性较，硬度也相当，因此广泛用于玻璃的抛光。

对抛光粉的基本要求：

（1）微粉粒度均匀致，在允许的范围之内；

（2）有较的纯度，不含机械杂质；

（3）有良好的分散性，以保证加工过程的均匀和效，可适量添加分散剂提悬浮率；

（4）粉末颗粒有定的晶格形态，破碎时形成锐利的棱角，以提抛光效率；

（5）有合适的硬度和密度，和水有很好的浸润性和悬浮性，因为抛光粉需要与水混合粒度越大的抛光粉，磨削力越大，越适合于较硬的材料，要注意的是，所有的抛光粉的颗粒度都有个分布问题，平均粒径或中位径D50的大小只决定了抛光速度的快慢，而大粒径Dmax决定了抛光精度的低。因此，要得到精度要求，必须控制抛光粉的大颗粒。普通抛光粉之所以存在划伤，就是有大颗粒的原因。所以般选择粒径分布范围窄的纳米抛光粉（VK-L300F）。

    抛光过程中浆料的浓度决定了抛光速度,浓度越大抛光速度越。使用小颗粒抛光粉时，浆料浓度因适当调低以得到合适的流动性，般建议在7-10%。